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蓝宝石晶体生长炉

{ 发布日期:2014-10-25 }


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蓝宝石晶体生长炉

 一、产品用途

主要用作晶体材料的结晶生长。    本系列产品在各温度环境下,可以分别实现坩埚上升法、提拉法、泡生法等多种晶体生长工艺,并可通简易气氛(氮气、惰性气体)。

二、产品结构

包括生长炉体、加热系统、坩埚、隔热材料、密封机构、升降机构、晶籽棒、真空系统、水冷系统、控制系统、测温系统等。

三、技术特点

是本公司自行研制开发的高性能新型特种电炉,采用多段可编程式温度控制器全过程自动控制温度,产品结构新颖,操作简便,综合性能指标较高,处于国内领先水平,是理想的晶体生产装备。

1)采用ZrB2陶瓷-石墨组合发热体,可提供2200℃的高温,与传统的石墨发热体电阻炉和钼丝炉相比,节能50%以上;

2)升温速度快,升至2200℃仅需250分钟。

3)热电偶采用ZrB2复合陶瓷温度传感器或者是ZrC复合陶瓷温度传感器,提高了测温的精度高;

4)炉体内分隔成四个温度场,通过热电偶监测四个温度场的温度并进行调节,以使其具有最佳的温度梯度,从而准确控制固液界面温度,提高晶体生长的最佳热场方式,进而找到晶体生长最佳途径,以利于提高晶体生长速度和晶体生长质量;

5)通过坩埚升降装置和籽晶棒升降装置配合,使得坩埚内氧化铝熔体的液面(即晶体生长部位)始终保持在一个位置,以便于精确控制其温度,从而利于晶体的生长。

四、产品型号

产品型号

升降比

坩埚尺寸mm

最高温度

功率

重量

速质比

SGM.AF40/20

1.01-1.08

Ø200*350

400-600℃

12KW

20kg

80/90%

SGM.AF70/35

1.01-1.08

Ø250*400

400-600℃

15KW

35kg

80/90%

SGM.AF120/55

1.01-1.08

Ø300*450

400-600℃

18KW

55kg

80/90%

SGM.AF180/90

1.01-1.08

Ø350*500

400-600℃

20KW

90kg

80/90%

SGM.AF250/140

1.01-1.08

Ø400*550

400-600℃

25KW

140kg

80/90%


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